基本信息

南方基地依托單位為中科院上海微系統與信息技術(shù)研究所。

北方基地依托單位為中科院電子學(xué)研究所。

四個(gè)專(zhuān)業(yè)點(diǎn)分別是光傳感器專(zhuān)業(yè)點(diǎn)（設在中科院上海技術(shù)物理研究所）、厚膜傳感器專(zhuān)業(yè)點(diǎn)（設在中科院合肥智能機械研究所）、氣敏傳感器專(zhuān)業(yè)點(diǎn)（設在中科院半導體研究所）、生物傳感器專(zhuān)業(yè)點(diǎn)（設在中科院微生物研究所）。

實(shí)驗室已通過(guò)1993、1997、2002年三次評估。

2011年11月1日[1]，科技部根據《國家重點(diǎn)實(shí)驗室建設與運行管理辦法》和《國家重點(diǎn)實(shí)驗室評估規則》的精神，2012年將對信息領(lǐng)域的國家重點(diǎn)實(shí)驗室，“傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室（中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所、中國科學(xué)院電子學(xué)研究所）”進(jìn)行評估，2012年信息領(lǐng)域國家重點(diǎn)實(shí)驗室評估的具體工作委托國家自然科學(xué)基金委員會(huì )承擔。

北方基地

1. 領(lǐng)域總體介紹

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室（北方基地）[2]成立于1987年。實(shí)驗室面向國家戰略需求和世界科技前沿，以基于微電子和微機械加工技術(shù)的微傳感器和系統作為主要研究方向，開(kāi)展基礎性、戰略性、前瞻性的研究工作。實(shí)驗室致力于提高我國傳感技術(shù)的自主創(chuàng )新能力和國際競爭力，推動(dòng)我國傳感技術(shù)的應用和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為國民經(jīng)濟建設服務(wù)，并建設我國傳感技術(shù)的研究基地和高素質(zhì)、高水平傳感技術(shù)人才的培養基地。

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室（北方基地）側重進(jìn)行傳感器的新原理、新方法、新技術(shù)、新器件、新系統的研究，實(shí)現傳感器的微型化、集成化、智能化和網(wǎng)絡(luò )化。實(shí)驗室自建立以來(lái)得到了迅速發(fā)展。先后承擔和完成了“973”、“863”、國家自然科學(xué)基金、國家科技攻關(guān)等一批國家級科研項目，在新型傳感器和微系統研究領(lǐng)域取得了一批有特色、高水平的創(chuàng )新性研究成果。

2. 主要技術(shù)優(yōu)勢

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室（北方基地）經(jīng)過(guò)二十余年的建設和奮斗，在微納傳感器及微系統的研究中獲得巨大進(jìn)展，取得了突出成績(jì)，逐步形成了以基于微納加工技術(shù)的微傳感器和微系統為主要創(chuàng )新方向的研究特點(diǎn)，具有電子學(xué)、信息技術(shù)、生物技術(shù)、化學(xué)、材料科學(xué)等多學(xué)科交叉的綜合優(yōu)勢，并已成為國內外廣泛認可、具有一定國際影響力和較強競爭力的傳感技術(shù)研究基地，同時(shí)形成了具有一流人才與完整學(xué)術(shù)梯隊以及先進(jìn)儀器設備與科研條件的國家級研究基地。

實(shí)驗室現有面積3500多平方米，其中500平米超凈間，擁有一條完整的微電子機械系統（MEMS）加工工藝線(xiàn)，具有先進(jìn)的工藝和測試設備，形成了一整套加工工藝規范，具備各種微結構器件的加工能力。實(shí)驗室已研制出一批具有特色的高水平傳感器及系統，如電場(chǎng)傳感器及系統、SPR生化分析儀、生物傳感器及系統、氣體傳感器及系統、微流控芯片系統、集成氣象傳感器、高精度壓力傳感器、微慣性傳感器等，具有雄厚的研究基礎和很強的技術(shù)攻關(guān)與自主創(chuàng )新能力。

3. 主要的科研工作

（1）微電子機械系統（MEMS）加工與封裝技術(shù)

（2）實(shí)驗室芯片（Lab-on-Chip）與微全分析系統（μTAS）

（3）生物微傳感器集成化芯片系統（SOC）

（4）多參數血液檢測微系統

（5）表面等離子體諧振（SPR）生化分析儀

（6）?；窓z測氣體傳感器

（7）污染監測生化微傳感器

（8）便攜式離子遷移率譜儀（IMS）

（9）電場(chǎng)傳感器

（10）高精度壓力傳感器

（11）微型加速度傳感器和陀螺儀

（12）溫濕壓集成氣象傳感器

（13）新型集成光學(xué)傳感器

（14）無(wú)線(xiàn)傳感器網(wǎng)